磁悬浮真空泵
流量Q：50~1200m³/min
电机单机功率：75~1000kW
优势：高效率、低噪音、无需润滑油、无需循环水
解决方案
400-8213-087
产品详情
磁悬浮真空泵是一款创新型真空获得设备。运用磁悬浮技术，使转子在无机械接触的状态下高速运转，有效降低摩擦与能耗，减少部件磨损，延长使用寿命。运行时噪音低、振动小，能稳定达到高真空度。相比传统真空泵，节能显著。广泛应用于半导体制造、科研实验、光学镀膜等对真空环境要求严苛的领域 。
| 型号 | 真空度（kPa） | 气量范围（m³/min） | 功率（kW） |
|---|---|---|---|
| CX75 | 10~70 | 90~50 | 75 |
| CX100 | 120~65 | 100 | |
| CX200 | 250~130 | 200 | |
| CX300 | 360~185 | 300 | |
| CX400 | 460~240 | 400 | |
| CX600 | 730~380 | 600 | |
| CX1000 | 1200~600 | 1000 |